L’industrie électronique pour opérer des actions de nettoyages de supports de Silicium durant des opérations de type etching, dépots en phase vapeur par plasma (PECVD), implants d’ions et tests divers utilise des solvants perfluorés qui possèdent les qualités de non inflammabilité, d’inertie chimique, de propriétés diélectriques, de résistance électrique et de tenue en température qui permettent à ces fluides de porter les composants en cours d’élaboration à des températures de plus en plus élevées qui peuvent dépasser les 200°C. Les solvants classiques de types amine perfluorée (FC-3283) ou de types polyéther perfluorés (HT-135) présentent un potentiel de réchauffement global (GWP) pouvant être de plusieurs milliers de fois supérieur à celui du CO2. Afin de maîtriser les émissions de ces solvants organiques perfluorés le CARB californien a décrété une « Semiconductor Perfluorocarbon Emissions Reduction Strategy » qui va entrer en application au 1er Janvier 2010. Ces mesures stipulent que les utilisateurs de ces solvants doivent déclarer les quantités achetées par types et par fournisseurs et doivent décrire leur mode d’utilisation dans les ateliers de production, machine par machine.
Ce genre de contrainte va obliger les industries des semi-conducteurs à mieux maîtriser l’utilisation de ces solvants et à prévenir les fuites et autres évaporations. Depuis quelques années les chimistes élaborant ces solvants complexes (3M sous la marque NOVEC et Solvay Solexis sous la marque Galden) présentent des produits qui respectent la couche d’ozone et présentent des durées de vie réduites dans l’atmosphère ce qui permet de réduire par 100 le GWP des solvants. Ces chimiste proposent en particulier des hydrofluoropolyéthers, (HFPE), présentant dans la formule complexe un groupement -OCH3 ou -OC2H5 ou -OCF2H non fluoré ou partiellement fluoré qui permet d’accélérer la vitesse de dégradation du produit dans l’atmosphère.
Encore un exemple de greenbusiness qui a été préparé il y a dix ans par plusieurs années de recherches et de développement, d’une chimie complexe. En effet, l’industrie des composants électroniques sur wafers de silicium ou de carbure de silicium a de belles décennies devant elle. Elle utilisera des solvants perfluorés dont les propriétés d’absorption du rayonnement infrarouge intrinsèques aux liaisons C-F seront toujours importantes. La mise en place d’un contrôle des conditions d’utilisations et la mise à disposition de solvants à durée limitée dans l’atmosphère (4 ans pour le HFE 7100 de 3M par exemple) permettront de diviser par 100 ou par 1000 les effets nocifs de ces produits sur l’environnement pour les productions californiennes.
Il restera à transposer ces pratiques vers les productions taïwanaises ou chinoises, ce qui sera une autre paire de manches. Il faudra faire appel à une discipline encore naissante, l’écologie-politique. Elle sera faite de diplomatie, de persuasion, de mesures des sources de pollution par satellites, de transferts de technologies et de connaissances précises des problèmes. La transposition des pratiques écologiquement les plus avancées aux pays en développement sera le grand problème écologique de ce siècle. Les futures rencontres de Copenhague du mois de Décembre vont en donner un premier aperçu.
LIRE une présentation 3M sur les hydrofluoroéthers.
CONSULTER les fiches des divers produits de Solvay Solexis.
Le 12 Juillet 2009.
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